浙江至纯精密制造有限公司为适应行业发展需要，计划总投资21944.21万元，租赁海宁国芯科技有限公司厂房总建筑面积44335.54m²，建设至纯半导体设备模组及部件制造项目，项目建成后，形成年产高纯度阀200套、加热器180台、静电消除器250台、晶圆位置扫描器250台、马兰戈尼干燥机80台、旋干机自动平衡器100台、兆声波230台、IPA浓度计230台、高低温泵100台的生产能力。

   浙江至纯精密制造有限公司至纯半导体设备模组及部件制造项目已在海宁市经济和信息化局备案（项目代码：2112-330481-07-02-646990），建设地点位于海宁经济开发区硖川路409号，项目可研报告由杭州饮冰智库企业咨询服务有限公司编制，总平面布置由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司进行设计。